扩散泵使用 Agilent SY 和 SANTOVAC 5 泵油。Agilent SY 是一种高质量、低成本的合成有机化合物。低蒸气压特性使其能够实现低至 10-8 Torr 范围的极限真空度。SANTOVAC 5 具有超低蒸气压，使其能够实现 10-10 Torr 范围的极限真空度和低返油率。Santovac 5真空油具有极低的蒸汽压，可以使泵得到接近极限的真空度；适合扩散泵，不需要任何类型的液氮冷阱；100％五环聚酯醚。
这种合成液体为聚苯醚，是从最初作为航天器润滑油的液体开发出来的。它拥有超低的蒸汽压力和*的热稳定性，并且表面潮湿的速度和“扩散”范围要小于大多数液体。这种液体可用于低于 10 -9 mbar 的极为清洁的高真空和超高真空应用（例如，电子显微镜、质谱分析仪和表面物理研究），具有优异的高真空性能并且不易渗入到泵系统内部，因此尤其推荐在这些领域中使用。在正常操作温度下，该液体化学稳定性强、无腐蚀性且安全无毒。液体分解产物（由于聚合反应等因素）一般是导电的。由于润滑性能优良，该液体可用来对真空系统中的机构进行润滑。